摘要：基于熱傳遞原理,設(shè)計了一種大量程氣體流量傳感器。采用FLUENT進(jìn)行結(jié)構(gòu)的仿真,結(jié)合權(quán)重法確定傳感器的最優(yōu)結(jié)構(gòu)模型。研究了傳感元件的溫度特性,確定了傳感器的工作狀態(tài)。設(shè)計了傳感電路,對傳感器進(jìn)行了自動溫度補(bǔ)償。測量中采用兩種不同的測量原理,使傳感器能夠檢測微小流量和中、大流量,提高了傳感器的測量范圍。實(shí)驗結(jié)果表明該傳感器測量流量量程為0.14m^3/h~130m^3/h,測量誤差優(yōu)于1.5%。