摘要：利用鍍膜技術(shù)和硅平面工藝在經(jīng)過(guò)干氧氧化的硅襯底上制備一層鈦鈮酸鍶(Sr NbxTi1-xO3)薄膜,然后制備成平面型薄膜光敏傳感器。對(duì)鈦鈮酸鍶薄膜的吸收光譜進(jìn)行測(cè)定,得到其禁帶寬度為2. 70 e V,對(duì)可見(jiàn)光有良好的敏感性。樣品在穩(wěn)定光照下,光電流隨照度的增大而增大;溫度對(duì)光敏特性影響很大,本傳感器適用于穩(wěn)定光照和室溫下使用。