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基于LTCC技術(shù)的加速度計(jì)制造方法

作者：唐小平; 盧會(huì)湘; 嚴(yán)英占 中華華通河北分公司; 石家莊050081; 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十四研究所; 石家莊050081

摘要：低溫共燒陶瓷(LTCC)技術(shù)是實(shí)現(xiàn)電子設(shè)備小型化、高密度集成化的主流技術(shù)手段,可適用于耐高溫、耐受惡劣環(huán)境下的特性要求。介紹了LTCC差分電容式加速度計(jì)結(jié)構(gòu),敏感質(zhì)量塊和4根懸臂梁結(jié)構(gòu)都內(nèi)嵌于LTCC多層基板,質(zhì)量塊和上下電容板之間通過(guò)印刷電極組成差分電容對(duì)。重點(diǎn)討論了微機(jī)械式LTCC基加速度計(jì)的工藝制造方法及其面臨的工藝問(wèn)題,實(shí)現(xiàn)了多款內(nèi)埋質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)的LTCC電容式加速度計(jì)制造。

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