摘要:點(diǎn)缺陷構(gòu)成的微腔對THz波調(diào)制器的性能起著決定性的作用,而在實(shí)際制作加工過程中,由于工藝的原因,光子晶體的結(jié)構(gòu)參量會(huì)產(chǎn)生偏差,難以制備出孔徑毫無偏差的光子晶體,且介質(zhì)柱的放置位置不能達(dá)到完全精確,因此光子晶體器件的性能也因此會(huì)受到一定程度的影響。文中重點(diǎn)討論了點(diǎn)缺陷介質(zhì)柱的半徑變化對直接耦合結(jié)構(gòu)的THz波調(diào)制器性能的影響,為光子晶體調(diào)制器的實(shí)際制作和相應(yīng)的誤差分析提供了理論幫助。
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