摘要：垂直腔面發(fā)射激光器是先進光學信息系統(tǒng)的關鍵器件之一,具有低成本、低發(fā)散角、窄線寬等優(yōu)點。為滿足垂直腔面發(fā)射激光器在微型原子鐘、軍事通信等領域的應用,優(yōu)化激光器的結構參數(shù)來改善腔模位置以及在頂層集成光柵改善出光信號的光場分布就變得尤為重要?；谠鲆媲荒ＪеC技術以及光柵優(yōu)異的光束會聚、偏振分束功能,提出一種基于非周期性亞波長光柵的894 nm垂直腔面發(fā)射激光器。利用光柵的偏振分束功能,可使器件輸出端口的消光大于30 dB。通過改善腔模位置以及氧化孔徑,器件在20~90℃范圍內基本工作性能保持穩(wěn)定,在85℃環(huán)境下工作波長滿足微型原子鐘的要求,輸出光功率為2 mW,為下一代微型原子鐘、軍事通信等的發(fā)展提供了良好的理論基礎。