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像素級光學濾波-探測集成器件的研究進展
作者：余曉暢; 趙建村; 虞益挺 西北工業(yè)大學空天微納系統(tǒng)教育部重點實驗室; 陜西西安710072; 西北工業(yè)大學陜西省微納機電系統(tǒng)重點實驗室; 陜西西安710072
摘要：傳統(tǒng)光譜成像系統(tǒng)采用探測器與傳統(tǒng)分光元件耦合的方式,體積較大、定制化能力不足。微/納光機電系統(tǒng)的快速發(fā)展,為微型化光譜成像系統(tǒng)提供了解決途徑?；诒砻娴入x激元學和光學超表面的微納濾波結構,可實現(xiàn)像素級的光場調控,有望替代傳統(tǒng)濾波器件并具有與成像系統(tǒng)片上集成的潛力。近年來,集成了動態(tài)或靜態(tài)濾波結構的光譜成像微系統(tǒng)已嶄露頭角,逐漸構建起全新的光譜成像方法,但在原理機制、器件性能、制造成本、集成裝配工藝等方面還有許多需要攻克的難題。本文綜述了國內外在像素級微納濾波結構、濾波和成像器件的集成制造和裝配等方面的研究進展,梳理了光學濾波-探測集成器件的發(fā)展脈絡,探討了其局限性并展望了發(fā)展趨勢。
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光學精密工程雜志
光學精密工程雜志， 月刊，本刊重視學術導向，堅持科學性、學術性、先進性、創(chuàng)新性，刊載內容涉及的欄目：現(xiàn)代應用光學、微納技術與精密機械、信息科學等。于1959年經新聞總署批準的正規(guī)刊物。
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