摘要：針對傳統(tǒng)剪切散斑干涉技術只能測量粗糙表面,無法直接測量鏡面物體的缺陷,提出了一種改進的剪切成像裝置,利用被測物表面反射由激光經(jīng)毛玻璃組擴束后產生的散斑來實現(xiàn)鏡面物體缺陷檢測;同時采用雙成像的馬赫曾德干涉系統(tǒng),實現(xiàn)剪切量與載波頻率的獨立調整,擴大有效測量區(qū)域.對8k鏡面板采用頂針加載的方式,對預置缺陷的鏡面表面材料采用熱加載的方式,進行缺陷檢測.實驗結果表明:該方法檢測出的缺陷分布與加載方式、預置缺陷的分布基本保持一致,可實現(xiàn)對鏡面材料內部缺陷的快速動態(tài)檢測.