摘要：研究定向凝固對(duì)提高多晶硅提純工藝具有重要意義。進(jìn)行全尺寸的多晶硅定向凝固實(shí)驗(yàn)周期長(zhǎng),成本高,采用與液態(tài)硅熱學(xué)、流體力學(xué)性質(zhì)相近的低溫流體進(jìn)行模擬實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)設(shè)備簡(jiǎn)單靈活,成本低廉,實(shí)驗(yàn)周期短。采用常規(guī)加熱與新型點(diǎn)狀熱源加熱方式進(jìn)行對(duì)比實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,用點(diǎn)狀熱源加熱減少了加熱器的布置數(shù)量,依然可以維持固液界面的水平,較常規(guī)加熱方式降低能耗約37%,可以為多晶硅的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)工藝提供參考。