摘要:小像元紅外探測(cè)器已成為紅外探測(cè)器技術(shù)發(fā)展的重要方向,像元尺寸減小可提高紅外成像系統(tǒng)的探測(cè)和識(shí)別距離,降低紅外探測(cè)器成本,減小系統(tǒng)尺寸、質(zhì)量和功耗等。本文介紹了國(guó)內(nèi)外小像元紅外探測(cè)器研制進(jìn)展,重點(diǎn)介紹了中國(guó)電科十一所研制的10μm像元間距1024×1024規(guī)模小像元碲鎘汞紅外焦平面探測(cè)器組件。組件為n-on-p平面結(jié)構(gòu)后截止波長(zhǎng)5μm、有效像元率達(dá)到99%、量子效率達(dá)到60%。
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