摘要:在真空熱處理測量裝置中,傳統(tǒng)的四極質譜計由于結構缺陷存在殘余氣體檢測不充分的問題,而標準真空計和被校真空計之間使用的T型三通同樣由于結構問題存在真空度檢測效率低的問題,導致大容量真空爐的真空度和殘余氣體測不準。文章從TRIZ理論方法的角度出發(fā),對傳統(tǒng)的四極質譜計結構進行不對稱式優(yōu)化,將T型三通變?yōu)榍蛎娼Y構并作加熱和氣壓控制改進,優(yōu)化和改進提高了真空熱處理測量裝置的工作效率。
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