摘要:光柵傳感器受工藝與材質(zhì)誤差干擾,測量結(jié)果易出現(xiàn)偏移現(xiàn)象,進(jìn)行傳感特性準(zhǔn)確校準(zhǔn)已經(jīng)成為光柵傳感器精確檢測應(yīng)用的重點(diǎn).圍繞布拉格光柵傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)開發(fā)展開研究,完成了敏感模塊的開發(fā)與性能分析,構(gòu)建了傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng);通過布拉格光柵傳感器性能測試實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證了校準(zhǔn)系統(tǒng)的可行性.結(jié)果表明,該校準(zhǔn)裝置靈敏度可達(dá)2.844×10-7,重復(fù)性9.89%,可以滿足傳感器校準(zhǔn)應(yīng)用需求.
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