摘要：基于仿生學(xué)原理,設(shè)計(jì)了一種仿側(cè)線神經(jīng)丘的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)矢量水聽(tīng)器。該水聽(tīng)器采用環(huán)形纖毛模擬魚(yú)類(lèi)側(cè)線神經(jīng)丘中的纖毛束與膠質(zhì)頂,通過(guò)4個(gè)十字梁與集成在梁上的壓敏電阻將聲信號(hào)轉(zhuǎn)換為電阻變化量,由電阻構(gòu)成Wheatstone電橋?qū)㈦娮枳兓哭D(zhuǎn)換為電壓信號(hào)。使用ANSYS軟件對(duì)水聽(tīng)器結(jié)構(gòu)進(jìn)行了仿真,得到環(huán)形纖毛的結(jié)構(gòu)參數(shù)。制作了水聽(tīng)器樣機(jī),通過(guò)比較校準(zhǔn)法進(jìn)行測(cè)試。測(cè)試結(jié)果表明該水聽(tīng)器帶寬為20~1 000 Hz,靈敏度達(dá)到了-179.81 dB@1 kHz,在帶寬內(nèi)較單個(gè)十字梁與纖毛結(jié)構(gòu)的纖毛式矢量水聽(tīng)器平均提高了15.55 dB,測(cè)試結(jié)果與仿真結(jié)論基本一致。