一種仿側(cè)線神經(jīng)丘的MEMS矢量水聽器設(shè)計
作者：張小勇; 沈倪鑫; 尚珍珍; 紀(jì)松祥; 張國軍 中北大學(xué)動態(tài)測試省部共建實驗室; 太原030051; 太原學(xué)院計算機工程系; 太原030032
摘要：基于仿生學(xué)原理,設(shè)計了一種仿側(cè)線神經(jīng)丘的微電子機械系統(tǒng)(MEMS)矢量水聽器。該水聽器采用環(huán)形纖毛模擬魚類側(cè)線神經(jīng)丘中的纖毛束與膠質(zhì)頂,通過4個十字梁與集成在梁上的壓敏電阻將聲信號轉(zhuǎn)換為電阻變化量,由電阻構(gòu)成Wheatstone電橋?qū)㈦娮枳兓哭D(zhuǎn)換為電壓信號。使用ANSYS軟件對水聽器結(jié)構(gòu)進行了仿真,得到環(huán)形纖毛的結(jié)構(gòu)參數(shù)。制作了水聽器樣機,通過比較校準(zhǔn)法進行測試。測試結(jié)果表明該水聽器帶寬為20~1 000 Hz,靈敏度達(dá)到了-179.81 dB@1 kHz,在帶寬內(nèi)較單個十字梁與纖毛結(jié)構(gòu)的纖毛式矢量水聽器平均提高了15.55 dB,測試結(jié)果與仿真結(jié)論基本一致。
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微納電子技術(shù)雜志
微納電子技術(shù)雜志， 月刊，本刊重視學(xué)術(shù)導(dǎo)向，堅持科學(xué)性、學(xué)術(shù)性、先進性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：技術(shù)論壇、材料與結(jié)構(gòu)、MEMS與傳感器、加工、測量與設(shè)備等。于1964年經(jīng)新聞總署批準(zhǔn)的正規(guī)刊物。
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