離子注入機(jī)大行程垂直掃描系統(tǒng)的研制
作者：肖仁耀 許波濤 中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所 中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所 長沙
摘要：采用垂直掃描系統(tǒng)是離子注入機(jī)最常用的掃描方式之一,著重闡述了一種大行程垂直掃描系統(tǒng)的系統(tǒng)構(gòu)成、設(shè)計思路和實現(xiàn)方法。經(jīng)過實際使用證明,該系統(tǒng)提高了離子注入機(jī)機(jī)械掃描的可靠性和穩(wěn)定性。
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