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退火溫度對真空熱蒸發(fā)法ZnS:In薄膜光電性能的影響

作者:陳金伙 李文劍 程樹英 福州大學物理與信息工程學院 福建福州350108

摘要:采用真空熱蒸發(fā)工藝,在ITO基片上分別制備ZnS薄膜和In薄膜,在正交實驗條件下,以2%摻雜濃度的In原子摻雜可獲得較高的載流子濃度,在此基礎上,研究了不同退火溫度對ZnS:In薄膜的光、電性能的影響。

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