有限元法結(jié)合壓痕法估算BNKT薄膜的壓電應(yīng)力常數(shù)
作者：王巍 蘇亮 鄭學(xué)軍 上海理工大學(xué)環(huán)境與建筑學(xué)院 上海200093 湘潭大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院 湖南湘潭411105 上海理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院 上海200093
摘要：考慮基底效應(yīng)的影響,將壓電應(yīng)變系數(shù)與壓電應(yīng)力常數(shù)的關(guān)系式作為補(bǔ)充方程,通過有限元法結(jié)合納米壓痕法估算了橫觀各向同性0.85Na_（0.5）Bi_（0.5）TiO_3-0.15K_（0.5）Bi_（0.5）TiO_3（BNKT）薄膜的壓電應(yīng)力常數(shù).在正向分析中,通過無量綱分析和有限元模擬,得到最大壓痕荷載、加載曲線指數(shù)與BNKT薄膜壓電應(yīng)力常數(shù)之間的無量綱方程.在反向分析中,利用納米壓痕實驗得到沉積在硅基底上BNKT薄膜的壓痕曲線,將實驗數(shù)曲線中的最大壓痕荷載和加載曲線指數(shù)代入正向分析建立的無量綱方程,聯(lián)立補(bǔ)充方程進(jìn)行求解,得到多組不同誤差下的解,取誤差最小時相應(yīng)的解e_（15）=0.28 C/m^2,e_（31）=7.72 C/m^2,e_（33）=18.26C/m^2為BNKT薄膜的壓電應(yīng)力常數(shù).
注：因版權(quán)方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
相關(guān)熱門期刊
