摘要：配合間隙是決定球型慣性器件精度和可靠性的關鍵參數(shù)之一,針對球型慣性器球面元件表面有缺口且未完全拋光導致曲率半徑難以精確測量,進而難以準確控制球碗、球冠配合間隙瓶頸問題,提出了一種球面慣性元件配合間隙激光差動共焦高精度方法。該方法利用抗散射的激光差動共焦曲率半徑測量方法分別對球碗、球冠的曲率半徑進行測量,然后利用差動共焦曲率半徑測量系統(tǒng)測得的球碗和球冠的半徑差來控制球型慣性器球面的配合間隙。理論分析與實驗驗證表明:該方法測量球冠和球碗配合間隙的相對擴展不確定度優(yōu)于20×10^-6,其為慣性器件球冠和球碗配合間隙的高精度測量與控制提供了一種全新的技術手段。