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摘要：在微細(xì)鉆銑刀具上進(jìn)行涂層制備是有效提高微切削質(zhì)量與加工效率的方法。金剛石涂層、類金剛石涂層和過(guò)渡族金屬碳/氮化物涂層在微細(xì)鉆銑刀具上得到了廣泛應(yīng)用,而應(yīng)用于傳統(tǒng)大直徑刀具上的硼化物涂層、氧化物涂層等,在微細(xì)鉆銑刀具上的應(yīng)用仍處于開(kāi)發(fā)階段。刀具表面涂層制備技術(shù)主要有物理氣相沉積技術(shù)、化學(xué)氣相沉積技術(shù)和原子層沉積技術(shù)。本文從微細(xì)鉆銑刀具出發(fā),綜述了各種制備方法的特點(diǎn),介紹了近年來(lái)在刀具前處理、涂層晶粒直徑、沉積參數(shù)控制及刀具夾具設(shè)計(jì)等關(guān)鍵技術(shù)點(diǎn)上的研究進(jìn)展,對(duì)微細(xì)鉆銑刀具表面涂層的制備具有指導(dǎo)意義。伴隨著微細(xì)鉆銑刀具涂層制備技術(shù)的優(yōu)化更新,涂層材料和涂層結(jié)構(gòu)的不斷發(fā)展,使得刀具涂層的最高硬度和使用溫度不斷提高。