摘要：薄膜體聲波諧振器(FBAR)力學(xué)傳感器有很大的應(yīng)用潛力,但其敏感機(jī)理--應(yīng)力負(fù)載效應(yīng)尚不能被準(zhǔn)確描述。為準(zhǔn)確描述應(yīng)力負(fù)載效應(yīng),預(yù)測FBAR力學(xué)傳感器的頻率靈敏度,提出一種攝動(dòng)與有限元聯(lián)合求解方法,并利用該方法計(jì)算FBAR微加速度計(jì)的頻率-加速度靈敏度。首先,在COMSOL有限元軟件中計(jì)算FBAR微加速度計(jì)在加速度下其壓電層AlN的平均偏置應(yīng)力;接著,在COMSOL中計(jì)算單個(gè)FBAR的諧振頻率與相應(yīng)的振型;最后,將有限元的計(jì)算數(shù)據(jù)和AlN的材料常數(shù)代入攝動(dòng)積分公式中,得到FBAR微加速度計(jì)的頻率-加速度靈敏度約為–98.879 kHz/g,與文獻(xiàn)報(bào)道的實(shí)驗(yàn)結(jié)果–100 kHz/g相吻合,驗(yàn)證方法的可行性。